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EFEM for Printer

半導體產業

Specifications 規格說明

Specifications

1. EFEM Unit

Dimensions(1 load port)

W670 X L1780 X H2076

Weight

480kg ~520 kg

Wafer transfer Size

300mm x 300 mm

Foup Loader

1 pcs

SECS/GEM

GEM 300

2.Power

電力系統負載

3P,220 VAC ;60HZ ;25A

3.Alignment ability

Product Size

300mm x 300mm

Product Type

Silicon / Glass

Detection function

非接觸式紅外線檢測, Notch 檢測

4.Transfer

Product Type

Silicon only

Catch function

Fork for Vacuum

Robot

Clean Robot:ARM  R axis Stroke =650mmZ axis Stroke =300mm

5.Quality

ESD

< 25V

FFU

AC 1Φ 200/220V±%10, Class 10~100 (HEPA風扇失效需立即停機報警)

E84 Sensor

For OHT

Ionizer

For Transfer window; 1pcs

無塵等級

FS209 Class 10~100

6.Safety

Area Sensor

For Loadport safety door.; EMO:3pcs

SEMI認證

符合E1.9E15.1E47.1E57E62E63E64

Loadport

SEMI規格300mmFOUP/ Auto Door FOSB

聯絡資訊

06-5894793

06-5898101

chi.yeh@cykctec.com

(總部) 台南市善化區牛庄里牛庄131之3號

(二廠) 台南市善化區牛庄里牛庄131之6號

(三廠) 台南市新市區大社里大社588號

產品領域

PCB產業 面板產業 電子產業 物流產業 生醫產業 CCL產業 半導體產業
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